Bump高度、直徑、共面性在線檢測

l  凸塊（Bump）高度

l  凸塊（Bump）共面性

l  凸塊（Bump）直徑

多光束共聚焦光學系統(tǒng)

如果反射光線的物體表面位于與點光源共軛的位置，那么高速測量是不可能的。只有與單個zj共軛的單一光束測量才能實現(xiàn)。此系統(tǒng)的測量傳感器在zj陣列中擁有超過3百萬個zj點，能夠通過多光束系統(tǒng)實現(xiàn)高速測量。

我們有兩個多光束共焦系統(tǒng)選項。一種是非掃描型(NCS)，適用于高速和更廣泛的測量范圍;另一種是掃描型(SCS)，通過應(yīng)用zj陣列的線性掃描系統(tǒng)，具有更高的檢測分辨率。

光學共聚焦高度測量新機制

在共焦法中，需要通過線性掃描來獲取并計算光電探測器的zd輸出。然而，通過Z級移動進行Z掃描的速度并不令人滿意。我們獨特的光學技術(shù)，無需Z級掃描即可實現(xiàn)這一目標。通過光路上裝配不同厚度的玻璃盤，焦點位置會根據(jù)玻璃厚度發(fā)生變化，這種效果等價于Z軸移動，通過旋轉(zhuǎn)玻璃盤實現(xiàn)高速的Z軸掃描，因此可以高速度獲取不同焦點的圖像。

配置參數(shù)