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旭硝子面向半導(dǎo)體制造工序中的再布線層,新開(kāi)發(fā)出了感光性絕緣膜“AL Polymer X2000系列”。通過(guò)均衡實(shí)現(xiàn)熱特性、電氣特性及機(jī)械特性,提高了易用性。將用作鈍化絕緣膜,在其上再布線及設(shè)置電較等。
該絕緣膜采用旭硝子的氟化學(xué)技術(shù)開(kāi)發(fā)而成。兼具可不向元器件施加負(fù)擔(dān)的低溫硬化特性(熱處理溫度+180~250℃)、可提高速度的低介電率特性(相對(duì)介電率2.6~2.7)以及可提高接合可靠性的高拉伸特性(伸度20%)。此外,還具有高解像度、平坦及低吸水性,因此可用于趨于微細(xì)化及高速化的半導(dǎo)體電路的開(kāi)發(fā)及制造。
本品將在旭硝子的千葉工廠進(jìn)行生產(chǎn),2009年1月開(kāi)始銷售。
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